Wien - Um Strukturen im Nano-Bereich, also bis zu 60.000 mal
dünner als ein Haar, herzustellen, bedarf es üblicherweise sehr
aufwendiger, teurer optischer lithographischer Verfahren. Eine neue
Technik verspricht eine zuverlässige und kostengünstige Alternative
dazu zu sein: das so genannte Nanoimprint-Verfahren. Dabei werden die
herzustellenden Strukturen nicht belichtet, sondern mit einem
Quarzstempel in einen speziellen, verformbaren Lack gedrückt, der
dann noch thermisch oder optisch entwickelt werden muss. Von
Mittwoch bis Freitag findet in Wien die 3. Internationale Konferenz
für Nanoimprint und Nanoprint Technologien (NNT) statt, zu der mehr
als 200 Teilnehmer erwartet werden.
Verfahren
Mit Hilfe optischer Lithographie-Verfahren lassen sich derzeit
Strukturen bis zu einer Größe von rund 50 Nanometer (ein Nanometer
ist der millionste Teil eines Millimeters) herstellen. Belichtet man
mit kurzwelligerem UV-Licht, kommt man möglicherweise auf bis zu 20
Nanometer herunter. Diese Verfahren haben aber den Nachteil, sehr
langsam und sehr teuer zu sein, erklärte der Leiter der
NNT-Konferenz, der aus Österreich stammende Chef des Instituts für
Halbleitertechnik der Universität Aachen, Heinrich Kurz, am Mittwoch
bei einem Pressegespräch.
Für die Herstellung der Stempel kann man dagegen
Elektronenstrahlen verwenden, mit denen sich extrem kleine Strukturen
belichten lassen. Mit Hilfe dieser Stempel lassen sich dann
zuverlässig, rasch und kostengünstig große Stückzahlen produzieren.
"Während sich die optischen Lithographie-Verfahren auf Grund der
hohen Kosten für die mittelständische Industrie nicht eignen, bietet
Nanoimprinting für österreichische Unternehmen eine Riesenchance, im
Bereich Nanotechnologie mitzumachen", sagte Kurz. Dies ist auch der
Grund, warum die Wirtschaftskammer Österreich die Konferenz
unterstützt.
Kritik an Förderungssituation
Heinrich Kurz kritisierte, dass in Österreich der Bereich Nanotechnologie
"zu spät und zu gering gefördert wurde", etwa im Vergleich zu den
skandinavischen Staaten oder der Schweiz. Weltweit werde dieser
Bereich als Zukunftstechnologie angesehen, dessen wirtschaftliche
Bedeutung sich in den schnell wachsenden Fördervolumina
niederschlage. So investiere die EU rund 1 Mrd. Euro in die
Nanotechnologie. Im Rahmen der österreichischen "Nanoinitiative"
werden derzeit fünf Verbundprojekte mit elf Mio. Euro gefördert. (APA)