Innovationen
Infineon verkleinert Leiterbahnen auf Computerchip auf 40 Nanometer
Mit einem Trick 100 Nanometer Grenze klar unterschritten
Dem Chiphersteller Infineon
ist ein weiterer
Schritt in der Miniaturisierung von Computerchips gelungen. Die
Forscher haben die Kupfer-Leiterbahnen auf einem Chip um mehr als ein
Drittel auf 40 Nanometer verkleinern können, teilte das Unternehmen
am Freitag in München mit. Das entspreche dem tausendstel Durchmesser
eines Haares. Aktuelle Pentium-4-Chips hätten dagegen eine
Strukturbreite von 130 Nanometern.
Störfaktoren
Bei der stetigen Verkleinerung der Chipbausteine stellten die
Störanfälligkeit und Wärmeentwicklung große Probleme für die Forscher
dar, sagte Reiner Schönrock von Infineon. "Der Weg, den die
Elektronen zurücklegen, wird immer kürzer, und die Wärmeentwicklung
nimmt zu." Die Forscher bei Infineon hätten nun nachweisen können,
dass belastbare und funktionsfähige Chips selbst in solcher
Größenordnung herstellbar seien. Die Chips seien auch bei hohen
Stromdurchleitungen nicht heiß geworden.
Trickreich
Normalerweise können heute eingesetzte Belichtungsgeräte in den
modernen Chip-Fabriken Leiterbahnen noch nicht unter 100 Nanometer
Durchmesser erzeugen. Die Infineon-Forscher hatten sich deshalb eines
kleinen "Tricks" bedient.
Sie belichteten den Chip zwar mit einem normalen Lithografiegerät,
verkleinerten jedoch die so entstandene Grabenstruktur auf dem
Silizium nachträglich durch chemische Prozesse. Die ersten Chips der
neuen Generation sollen voraussichtlich im Jahr 2010 auf den Markt
kommen.
(APA)